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              品質是生命,服務是宗旨

              Quality is life, service is the tenet

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              (含預熱器)雙溫區滑軌式CVD系統廠家

              更新時間:  2019-05-19

              產品型號:  

              產品報價:  

              所  在  地:  合肥市新站區穎河路22號

              產品特點:  (含預熱器)雙溫區滑軌式CVD系統廠家 雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫;PLC控制5路質子流量器,能夠精確控制系統的供氣;真空泵可實現對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統)常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備

              (聯系我時,請說明是在化工儀器網上看到的信息,謝謝!)
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              產品概述

              設備描述

              CVD1200C-II-SL  200D50-5Z(含預熱器) 雙溫區滑軌式CVD系統由預熱爐、雙溫區滑軌爐、質子流量控制系統、真空系統三部分組成。雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫;PLC控制5路質子流量器,能夠精確控制系統的供氣;真空泵可實現對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統)常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備

              技術參數

               

               

               

               

               

               

               

               

               

              雙溫區滑軌爐LFT1200C-II 200D50

              爐體結構

              該設備采用雙層殼體并帶有風冷系統,使其爐體表面溫度都小于55℃

              ·           爐底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。

              爐管尺寸

              Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)

              功率

              5kW

              輸入電壓

              220VAC 單相 50/60Hz

              加熱元件

              Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

              高溫度

              高溫度:1200℃ 

              額定溫度:1100℃

              升溫速率

               ≦10℃/min(推薦)

              加熱區長度度

              ·         兩個加熱區的長度都是200mm

              ·         分別由獨立的溫控系統控制

              恒溫區長

              ·         100+100mm(±1℃)

              ·         可獲得較長恒溫區間

              控溫精度

              ·          ±1℃

              快速連接法蘭

              ·         Φ50快結式不銹鋼真空法蘭

              ·         打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
              另配備有可調節高度的法蘭支架

               

               

              預熱爐

              功率

              ·         1kw

              加熱區

              ·         100mm

              高溫度

              ·         1200℃

              工作溫度

              ·         200-800℃(可根據實際工藝需求調整)

               

               

              五路質子流量控制系統

              MFC-5Z

              電壓

              220VAC  單相  50/60Hz

              針閥材質

              316不銹鋼

              量程

              50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據工藝要求提供多種量程選擇)

              工作溫度

              5~45℃

              外型尺寸

              600(L) x 600(W) x 700(H) mm

              電壓

              AC220V/50Hz單相

              功率

              23W

               

               

              真空系統

              LVU-10

              殼體尺寸

              ·         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

              大承載量

              ·         1000 Lbs 

              抽氣速率

              ·         10m³/h

              ·         極限真空度:10-1Pa

              ·         雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接

              質保期

              一年質保期,(相關耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件)

               

               

               

               

              使用注意事項

              ·         爐管內氣壓不可高于0.02MPa

              ·        

              ·         當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

              ·         石英管的長時間使用溫度<1100℃

              ·         對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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